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Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2013-03-01

Journal:物理化学学报

Included Journals:SCIE、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

Volume:29

Issue:3

Page Number:625-630

ISSN No.:1000-6818

Key Words:大气压射频等离子体;介质阻挡放电;等离子体化学气相沉积;发射光谱诊断;TiO2

Abstract:开展了大气压射频(RF)等离子体化学气相沉积(PCVD)TiO2放电体系的发射光谱诊断研究,分别考察了氧气分压、钛酸四异丙酯(TTIP)分压和输入功率对氧原子谱线相对强度、氩原子激发温度、OH振动温度以及转动温度的影响.结果表明:随着氧气分压的增加,氧原子谱线相对强度先迅速增加至峰值后缓慢下降, OH振动温度缓慢增加,而氩原子激发温度和OH转动温度基本不变.随着TTIP分压的增加,氧原子谱线相对强度下降,氩原子激发温度没有明显变化,而OH振动温度和转动温度增加.随着输入功率的增加,氧原子谱线相对强度下降,氩原子激发温度、OH振动温度和转动温度升高.