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项目名称：等离子体化学气相沉积微晶硅薄膜的活性粒子诊断

负责人姓名：李小松

项目来源：国务院其他部门

项目子类：面上项目

项目状态：结题

项目来源单位：人力资源与社会保障部

项目性质：纵向

项目批准号：20080431138

立项时间：2008-01-01

计划完成时间：2010-12-31

开始日期：2009-01-01

结项日期：2010-12-31

发布时间：2016-08-09