大连理工大学主页平台管理系统李小松--中文主页-- Experimental investigation of ion energy distributions in a dual frequency

李小松

访问量：

开通时间：..

最后更新时间：..

当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 论文成果

Experimental investigation of ion energy distributions in a dual frequency

点击次数：

论文类型：期刊论文

发表时间：2010-01-01

发表刊物：PHYSICS OF PLASMAS

卷号：17

期号：3

页面范围：33501-33501

上一条：Experimental investigation of ion energy distributions in a dual frequency capacitively coupled Ar/CF4 plasma

下一条：Effects of matching network on the hysteresis during E and H mode