大连理工大学主页平台管理系统李小松--中文主页-- Spatially resolved measurements of ion density and electron temperature

李小松

高级工程师硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：lixsong@dlut.edu.cn

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Spatially resolved measurements of ion density and electron temperature

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论文类型：期刊论文

发表时间：2011-01-01

发表刊物：J. Vac. Sci. Technol. A

卷号：29

期号：1

页面范围：11006-11006

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