李小松
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专利名称:基于水解反应气相均匀沉积TiO<sub>2</sub>薄膜的方法
第一作者:朱爱民
发明设计人:石川,李小松,朱晓兵
申请号:CN201310415632.X
授权日期:2013-09-13
授权号:CN103498132A
发布时间:2019-03-09
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