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一种低气压大面积、高密度等离子体产生装置及产生方法

发表时间：2019-10-05 点击次数：

第一作者：丁洪斌

发明设计人：王志伟,高亮,冯春雷,王奇

申请号： CN201710569131.5

授权日期： 2017-07-13

授权号： CN107426908A