宋健

个人信息Personal Information

副教授

博士生导师

硕士生导师

性别:男

毕业院校:哈尔滨工业大学

学位:博士

所在单位:物理学院

学科:等离子体物理

办公地点:等离子体科学与工程研究中心(新三束3号楼203)

电子邮箱:songjian@dlut.edu.cn

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论文成果

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Optimization of discharge antenna turn and modulation of EEPFs and plasma parameters in dual-frequency cylindrical ICP source at different gas pressures

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发表时间:2022-10-07

发表刊物:JOURNAL OF APPLIED PHYSICS

卷号:128

期号:1

ISSN号:0021-8979