宋健
个人信息Personal Information
副教授
博士生导师
硕士生导师
性别:男
毕业院校:哈尔滨工业大学
学位:博士
所在单位:物理学院
学科:等离子体物理
办公地点:等离子体科学与工程研究中心(新三束3号楼203)
电子邮箱:songjian@dlut.edu.cn
扫描关注
Optimization of discharge antenna turn and modulation of EEPFs and plasma parameters in dual-frequency cylindrical ICP source at different gas pressures
点击次数:
发表时间:2022-10-07
发表刊物:JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
卷号:128
期号:1
ISSN号:0021-8979