宋健
个人信息Personal Information
副教授
博士生导师
硕士生导师
性别:男
毕业院校:哈尔滨工业大学
学位:博士
所在单位:物理学院
学科:等离子体物理
办公地点:等离子体科学与工程研究中心(新三束3号楼203)
电子邮箱:songjian@dlut.edu.cn
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Frequency dependence of plasma characteristics at different pressures in cylindrical inductively coupled plasma source
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发表时间:2022-10-02
发表刊物:Plasma Science and Technology
卷号:21
期号:7
ISSN号:1009-0630