孙景毓，中共党员，大连理工大学副教授，博士生导师。2021 年 6 月毕业于大连理工大学物理学院等离子体物理专业，获得博士学位，同年进入光学工程博士后流动站工作，2024 年 7 月留校晋升副教授。聚焦高端半导体芯片制造需求，围绕“射频容性耦合等离子体放电效率”、“EUV诱导等离子体瞬态物理过程”等方向，长期开展低温等离子体物理的应用基础研究。针对深刻工艺极低气压下等离子体密度低、 影响刻蚀产率这一关键问题，基于粒子模拟，首次发现“磁化回旋电子弹跳共振现象”和“磁化串联共振现象”，相关成果为高密度等离子体源的开发应用奠定理论基础。截至2024年，在Phys. Rev. Lett.（第一作者）、Phys. Rev. E、Plasma Sources Sci. Technol.、Phys. Plasmas等期刊发表高水平学术论文近20篇，其中第一/通讯作者论文11篇。申请国内外专利5项（授权3项）；主持国家自然科学基金青年项目，中核集团核工业理化研究院技术服务项目（45万），参与国家科技部重点研发计划专项（200万）和多项国家自然科学基金项目，参与多物理场工艺腔室仿真平台MAPS 成果转化（700 万）。

【研究方向】

低温射频等离子体物理实验与仿真；EUV诱导等离子体物理仿真；Particle-in-Cell算法；流体模型；PECVD工艺 ...

【招生专业】

物理、数学、计算机、集成电路、人工智能、化学 .. 

【教育经历】

2016.09-2021.06 大连理工大学 物理学院 等离子体物理 博士

2012.09-2015.07 大连理工大学 物理与光电工程学院 应用物理学 学士

【工作经历】

2024.08至今       大连理工大学 物理学院 副教授

2021.07-2024.08 大连理工大学 物理学院 博士后

【论文列表】

2024年：

[17] Jing-Yu Sun, Fei Gao,* Fang-Jie Zhou, Julian Schulze, and You-Nian Wang. Enhancement of Harmonic Heating by Magnetized Plasma Series Resonance in Capacitive Radio Frequency Discharges [J]. Phys. Rev. Lett., 2024, 133(23), 235302

[16] Hui Wen, Jing-Yu Sun*, and Quan-Zhi Zhang*. Kinetic behavior of secondary electrons in a magnetized voltage-driven discharge using combined rf/dc sources [J]. Phys. Scr., 2024, 99(05), 055605 

2023年：

[15] Jing-Yu Sun, Xing Chen, Kai Zhao, Cheng Yuan, Xiao-Yong Lu, Fei Gao* and You-Nian Wang*. Particle simulations of ion-extraction process from a decaying plasma assisted by radio-frequency plasma heating [J]. Plasma Sources Sci. Technol., 2023, 32(12), 125009

[14] Jing-Yu Sun, Julian Schulze, Fang-Fang Ma, Quan-Zhi Zhang, You-Nian Wang*. Similarity laws for two-dimensional simulations of low-pressure capacitively coupled radio-frequency discharges [J]. Phys. Plasmas, 2023, 30(12), 120702

[13] Jing-Yu Sun, Quan-Zhi Zhang, Julian Schulze, You-Nian Wang*. Resonant electron confinement and sheath expansion heating in magnetized capacitive oxygen discharges [J]. Plasma Sources Sci. Technol., 2023, 32(07), 075003

[12] Yu-Ru Zhang, Jia-Wei Huang, Fang-Jie Zhou, Chang Lu, Jing-Yu Sun, Zi-Xuan Su, You-Nian Wang*. Benchmarking and validation of a hybrid model for electropositive and electronegative capacitively coupled plasmas [J]. Plasma Sources Sci. Technol.,2023, 32(05), 054005

2022年：

[11] Jing-Yu Sun, Hui Wen, Quan-Zhi Zhang*, Julian Schulze, Yong-Xin Liu, You-Nian Wang. Electron heating mode transition induced by the magnetic confinement of secondary electrons in capacitively coupled radio frequency discharges [J]. Plasma Sources Sci. Technol., 2022, 31(08), 085012

[10] Quan-Zhi Zhang, Jia-Rui Liu, Yong-Xin Liu*, Wen-Qi Lu*, Jing-Yu Sun and You-Nian Wang. Enhanced heating in plasma bulk due to electron cyclotron resonance in weakly magnetized capacitively coupled plasmas [J]. Plasma Sources Sci. Technol., 2022, 31(07), 07LT01

[9] Jing-Yu Sun, Quan-Zhi Zhang*, Julian Schulze, You-Nian Wang. Collisionless magnetized sheath resonance heating induced by a transverse magnetic field in low-pressure capacitive rf discharges [J]. Plasma Sources Sci. Technol., 2022, 31(04), 045011

2021年：

[8] Quan-Zhi Zhang*, Jing-Yu Sun, Wen-Qi Lu*, Julian Schulze, Yu-Qing Guo, You-Nian Wang. Resonant sheath heating in weakly magnetized capacitively coupled plasmas due to electron-cyclotron motion [J]. Phys. Rev. E, 2021, 104(04), 045209

[7] Fang-Fang Ma, Quan-Zhi Zhang*, Julian Schulze, Jing-Yu Sun, You-Nian Wang. Temporal evolution of plasma characteristics in synchronized dual-level RF pulsed capacitively coupled discharge [J]. Plasma Sources Sci. Technol., 2021, 30(10), 105018

[6] Yu-Qing Guo, Jing-Yu Sun, Quan-Zhi Zhang*, Fang-Fang Ma, Xiang-Mei Liu, You-Nian Wang. Modulation of uniform magnetic field on electron dynamics in low-pressure capacitively coupled plasmas [J]. Plasma Process Polym., 2021, 18, e2100072

[5] Jing-Yu Sun, Quan-Zhi Zhang*, You-Nian Wang. Observation of nonlinear sheath oscillations in symmetric capacitive discharges at low pressures [J]. Phys. Plasmas, 2021, 28(01), 013509

-2020年：

[4] Jing-Yu Sun, Quan-Zhi Zhang*, Jia-Rui Liu, Yuan-Hong Song and You-Nian Wang. Electrical asymmetry effect in inhomogeneously magnetized capacitively coupled plasmas [J]. Plasma Sources Sci. Technol., 2020, 29(11), 114002

[3] Jing-Yu Sun, Quan-Zhi Zhang, Yong-Xin Liu, You-Nian Wang. Realistic treatment for secondary electron emission in hybrid DC/DF capacitively coupled discharge [J]. Plasma Sources Sci. Technol., 2020, 29(02), 024001

[2] Jing-Yu Sun, De-Qi Wen, Quan-Zhi Zhang, Yong-Xin Liu, You-Nian Wang*. The effects of electron surface interactions in geometrically symmetric capacitive RF plasmas in the presence of different electrode surface materials [J]. Phys. Plasmas, 2019, 26(06), 063505

[1] Gang-Hu Liu, Xiang-Yu Wang, Yong-Xin Liu*, Jing-Yu Sun and You-Nian Wang. Effects of secondary electron emission on plasma density and electron excitation dynamics in dual-frequency asymmetric capacitively coupled argon plasmas [J]. Plasma Sources Sci. Technol., 2018, 27(06), 064004

【项目情况】

在研：

[1] 国家自然科学基金委员会, 青年科学基金项目（C类）[原青年科学基金项目], 12205036, 基于二维隐式PIC/MC模型的脉冲调制容性放电中活性物种的机理研究, 2023-01-01 至 2025-12-31, 30万元, 在研, 主持

[2] 国家自然科学基金委员会, 面上项目, 12275043, 面向刻蚀工艺的脉冲调制甚高频容性耦合等离子体的点燃物理, 2023-01-01 至 2026-12-31, 56万元, 在研, 参与

[3] 中国人民共和国科学技术部, 国家重点研发计划青年科学家项目, 2022YFE03190100, 离子回旋波天线与等离子体边界耦合模拟平台研发, 2022-05 至 2027-04, 200万元, 在研, 参与

结题：

[1] 国家自然科学基金委员会, 重点项目, 11935005, 面向工业等离子体源的一些关键科学问题的研究, 2020-01-01 至 2024-12-31, 340万元, 资助期满, 参与

[2] 中核集团核工业理化工程研究院，技术服务，电子加热法离子引出理论模拟和试验验证，2022-04至-2023-01, 45万元，资助期满，主持