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发布时间：2024-11-29

论文类型：期刊论文

论文编号：413362

发表时间：2024-11-15

发表刊物：微纳电子技术

卷号：61

期号：11

页面范围：104-112

ISSN号：1671-4776

关键字：high sensitivity; microcrack; oxygen plasma etching; transparent flexible strain sensor; wide range

CN号：13-1314/TN