论文成果
同轴双放电腔微波ECR等离子体源增强非平衡磁控溅射制备SiN_x薄膜研究
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- 论文类型：会议论文
- 发表时间：2009-07-20
- 文献类型：A
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- 关键字：氮化硅薄膜;薄膜研究;ECR;SiN_x;非平衡磁控溅射;等离子体源;自润滑性;PECVD;物理气相沉积;半导体芯片;
- 摘要：氮化硅薄膜具有高的化学稳定性、优良的机械性能和抗氧化、抗腐蚀特性,还具有高硬度和和自润滑性,在半导体芯片和光伏产业中获得广泛应用。目前制备氮化硅薄膜最常采用的等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法需要使用危险性气体和昂贵的尾气处理系统,探索采用物理气相沉积(PVD)方法制备氮化硅薄膜具有现实的意义。
