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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
任职 : 《Plasma Science and Technology》学术期刊编委
性别：男
毕业院校：大连工学院
学位：硕士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：主楼东侧楼（物理系楼）304室
联系方式：0411-84707981
电子邮箱：wangdez@dlut.edu.cn
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AlN/WAlN/W太阳能选择性吸收多层薄膜研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2011-01-25
发表刊物：真空
收录刊物：ISTIC
卷号：48
期号：1
页面范围：21-24
ISSN号：1002-0322
关键字：太阳能;吸收涂层;磁控溅射;WAlN/W
摘要：采用全封闭磁场的非平衡态磁控溅射系统,以纯金属为靶材,制备了AlN/WAlN(多层)/W薄膜.X射线掠射(GID)、扫描电镜(SEM)以及分光光度计等测试手段分析薄膜的相结构、表面形貌以及吸收光谱等特性.结果表明,薄膜沉积设备性能稳定,W、Al靶材溅射率高.获得AlN/WAlN(多层)/W薄膜中各层薄膜表面质地都较均匀,且为多晶态或纳米晶薄膜.该结构膜系对波长在200～2000nm范围内的光波有较高的吸收效果,平均吸收率可达96%以上,吸收性能优异.