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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
任职 : 《Plasma Science and Technology》学术期刊编委
性别：男
毕业院校：大连工学院
学位：硕士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：主楼东侧楼（物理系楼）304室
联系方式：0411-84707981
电子邮箱：wangdez@dlut.edu.cn
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通过栅网进行离子引出的模拟研究
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论文类型：会议论文
发表时间：2013-08-15
页面范围：242-242
关键字：磁约束;等离子体源;等离子体刻蚀;网孔;靶板;直流高压;等离子体密度;初始时刻;粒子模拟;电势分布;
摘要：引言低温等离子体刻蚀和沉积、以及磁约束核聚变中的中性束加热都需要得到具有一定能量和方向的离子束。我们可以通过栅网从等离子体源中单独的引出离子,然后通过外加偏压对离子进行能量和方向的控制。离子的能量主要取决于外加偏压的大小,而离子引出的方向和栅网附近鞘层的分布相关。不同栅网网孔尺寸(和鞘层厚度相比)