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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
任职 : 《Plasma Science and Technology》学术期刊编委
性别：男
毕业院校：大连工学院
学位：硕士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：主楼东侧楼（物理系楼）304室
联系方式：0411-84707981
电子邮箱：wangdez@dlut.edu.cn
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电弧离子镀尘埃颗粒在脉冲等离子体鞘层中的受力及运动状态研究
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论文类型：会议论文
发表时间：2003-09-01
页面范围：1
关键字：电弧离子镀;鞘层;等离子体鞘;脉冲等离子体;状态研究;颗粒分布;薄膜质量;污染问题;粒子流;电场力;
摘要：在电弧离子镀中,脉冲偏压工艺能一定程度地改善大颗粒的污染问题,获得脉冲偏压的电参数与颗粒分布、数量之间的对应关系,将会对提高电弧离子镀的薄膜质量具有重要意义,而研究尘埃颗粒在等离子体鞘层中的受力及运动状态,是解决这一问题的必由之路。