王德真
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
任职 : 《Plasma Science and Technology》学术期刊编委
性别:男
毕业院校:大连工学院
学位:硕士
所在单位:物理学院
学科:等离子体物理
办公地点:主楼东侧楼(物理系楼)304室
联系方式:0411-84707981
电子邮箱:wangdez@dlut.edu.cn
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大气压Ar射频容性放电模式转变的温度表征
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论文类型:期刊论文
发表时间:2011-02-15
发表刊物:物理学报
收录刊物:PKU、ISTIC、CSCD
卷号:60
期号:2
页面范围:452-459
ISSN号:1000-3290
关键字:大气压等离子体;放电模式;转动温度
摘要:在大气压条件下Ar气流中实现了容性射频放电α和γ两种模式及其转变与共存.由于放电处于开放大气环境中,放电发射光谱中清晰地存在N2CΠu→B3Πg跃迁产生的第二正带和OH自由基A2Σ→X2Π跃迁的(0,0)带光谱.为了获得放电区域的宏观温度,针对氮的第二正带(0,1),(1,2)两个谱带,自编了拟合程序,用温度拟合方法获得了氮分子的转动温度和振动温度,研究了转动温度随放电功率的变化趋势,得到了温度突变与放电模式转变的相关性.利用Lifbase的发射光谱模拟功能,进行了OH自由基A2Σ→X2Π(0,0)带光谱的模拟,通过与实验光谱对比,得到了与N2光谱拟合结果相符的OH转动温度,以及相似的随放电功率的变化趋势,这说明放电空间内的中性物种达到了热平衡状态.根据放电伏安特性变化,放电模式转变对应的转动温度变化趋势得到确认,并且与放电形态的照片符合.