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论文类型：会议论文

发表时间：2011-08-08

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关键字：等离子体源;等离子体诊断;等离子体特性

摘要：本文中,我们设计和研究了,激发电源为几十千赫兹的正弦交流且具有独特双高压电极结构的大气压氩等离子体射流。通过采用空间分离的双高压电极结构,一个在上端而另一个在下端的独特设计,等离子体动力学显示下端的等离子体射流能够得利于上端的放电,具体表现在击穿和维持电压、气体放电、电子密度等放电参数方面。特别地,我们通过系统的电学和光学诊断,重点考察了电源频率(60 130 kHz)对放电特性的影响。实验结果表明,在固定的电压和气体流量下,放电特性对电源频率在60-100 kHz范围内的变化并不敏感,且相应的放电参数(放电电流、功率、气体温度、电子激发温度、电子密度等)基本保持不变。一旦电源频率超过临界值100 kHz,放电突然变得很强烈,相应的放电参数随着电源频率增加而急剧增加。对于这两种电源频率对放电特性截然不同的影响,详细分析表明两种不同的电子主要损耗机制,即迁移损耗和扩散损耗,可以用来解释电源频率对放电特性的这两种不同影响。