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研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：吉林工业大学
所在单位：机械工程学院
电子邮箱：wangld@dlut.edu.cn
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一种测量Si/SiO2界面残余应力的微结构应变计
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论文类型：期刊论文
发表时间：2002-01-01
发表刊物：仪器仪表学报
收录刊物：PKU、ISTIC
卷号：23
期号：z1
页面范围：122-123
ISSN号：0254-3087
关键字：硅;二氧化硅;残余应力;微应变计
摘要：借鉴工程力学中测量残余应力的盲孔法,给出了一种测量半导体氧化工艺中形成的硅-二氧化硅界面残余应力的微结构应变计,并对其测量结果作了讨论.