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论文类型：期刊论文

发表时间：2002-10-30

发表刊物：光学精密工程

收录刊物：ISTIC、CSCD

卷号：10

期号：5

页面范围：471-475

ISSN号：1004-924X

关键字：串联压电双晶片;压电微电机;机理

摘要：把两片压电双晶片(PZT Bimorph)串联在一起,构成串联弯曲臂.一端固定,另一端自由时,在相位差为π/2的一定频率的方波信号驱动下,弯曲臂的自由端将形成类似椭圆的运动轨迹.以串联弯曲臂为驱动元件,可用来驱动与其端面相接触的转子转动,构成串联弯曲臂式压电微电机.本文将对串联弯曲臂的驱动机理进行分析,在新的微小尺寸驱动机理研究的椭圆运动的基础上,研制了串联弯曲臂压电微电机的样机,并且对样机的性能参数进行测试,转速可以达到110rpm,输出转矩可以达到22.5μNm.