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个人信息Personal Information
研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：吉林工业大学
所在单位：机械工程学院
电子邮箱：wangld@dlut.edu.cn
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基于硅基PZT微力传感器标定系统的初步研究
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论文类型：会议论文
发表时间：2005-08-13
卷号：Vol.16
页面范围：372-374
关键字：PZT薄膜;微力传感器;标定;双晶片
摘要： 本文采用双晶片探头和电子天平对PZT微力传感器进行静态力标定,进而利用双晶片探头和电荷放大器对PZT微力传感器进行准静态标定,微小信号检测通过锁相放大器来实现.PZT薄膜在基体Pt/Ti/SiO2/Si<100>上用溶胶-凝胶法制备,然后在600℃下退火.PZT微力传感器完全由MEMS体硅加工工艺来实现.