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论文类型：会议论文

发表时间：2002-09-01

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关键字：总体概况;微机电系统;MEMS;研究与开发;微执行器;微传感器;新兴交叉学科;微驱动器;便携化;产业前景;

摘要：微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems)是80年代发展起来的新兴交叉学科,其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等。由于该系统能够实现各类产品的微型化、集成化与便携化,因而在天上、地面和海洋的诸多领域有广泛的应用与产业前景。本文概括地介绍微机电系统学科的重大意义,十三年来中国MEMS研发的总体概况,以及关注的热点。