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研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：吉林工业大学
所在单位：机械工程学院
电子邮箱：wangld@dlut.edu.cn
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硅光棚的制作与应用
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论文类型：期刊论文
发表时间：2002-02-25
发表刊物：微纳电子技术
卷号：39
期号：2
页面范围：29-33
ISSN号：1671-4776
关键字：硅;光栅;微加工技术
摘要：硅是一种良好的近红外材料.硅光栅的发展迄今已有20多年历史,在制作方法和应用上都有了较大的发展.硅光栅的微加工工艺可以分为体硅工艺和面硅工艺,这些微加工方法在技术上与微电子及微机械工艺可以兼容.本文介绍了硅光栅的制作及其在不同领域的应用.