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论文类型：期刊论文

发表时间：2003-01-25

发表刊物：仪表技术与传感器

收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD

卷号：0

期号：1

页面范围：1-3

ISSN号：1002-1841

关键字：微机电系统;微型化;集成化

摘要：微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems)是80年代发展起来的新兴交叉学科,其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等.由于该系统能够实现各类产品的微型化、集成化与便携化,因而在天上、地面和海洋的诸多领域有广泛的应用与产业前景.本文概括地介绍微机电系统学科的重大意义,13年来中国MEMS研发的总体概况,以及关注的热点.