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论文类型：期刊论文

发表时间：2005-01-15

发表刊物：中国机械工程

收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

卷号：16

期号：1

页面范围：83-88

ISSN号：1004-132X

关键字：MEMS;动态测试;微结构;光学测试

摘要：MEMS功能主要通过微结构部件的微小位移和变形实现,故其动态性能测试至关重要,但MEMS结构由于其尺寸小,传统的动态测试方法已经难以达到要求,而光学测试技术是非接触测量,且具有定位准确、测试精度高、响应快的特点,使其在MEMS结构动态测试中发挥着越来越重要的作用.介绍并分析了频闪显微干涉、计算机微视觉、激光多普勒测振、电子散斑干涉和光纤测试等MEMS动态测试技术,讨论了其应用场合和测试范围.