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论文类型：期刊论文

发表时间：2005-07-30

发表刊物：中国机械工程

收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

卷号：16

期号：14

页面范围：1269-1272

ISSN号：1004-132X

关键字：电热微夹钳;有限元;数值模拟;多晶硅

摘要：介绍了一种新型多晶硅电热微夹钳,该夹钳在V形电热微驱动器的作用下,能够产生近似线性的位移和产生较大的夹持力.在全面考虑了空气对流、辐射、热传导及材料特性等各种因素的情况下,建立了该电热微夹钳的有限元模型,利用该模型分别进行了稳态和瞬态的仿真分析,模拟出输出位移和温度场随电压的变化情况,以及电热微夹钳的热响应时间.对仿真的结果进行了讨论.