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论文类型：期刊论文

发表时间：2005-01-01

发表刊物：中国机械工程

收录刊物：PKU、ISTIC

卷号：16

期号：z1

页面范围：467-468

ISSN号：1004-132X

关键字：PZT薄膜;压电;集成;微悬臂梁

摘要：设计了基于PZT压电薄膜的双层和双片压电微悬臂梁结构,利用压电材料的正压电效应和逆压电效应,通过两个压电元件实现传感和执行功能的集成.悬臂梁结构采用体硅加工工艺制作,锆钛酸铅(Pb(Zr,Ti)O3,PZT)压电薄膜采用sol-gel方法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制作,压电薄膜具有完整的钙钛矿结构和(111)择优取向.为了提高悬臂梁的性能和制作成品率,对制作微悬臂梁的关键工艺进行了优化.