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论文类型：期刊论文

发表时间：2009-01-01

发表刊物：中国机械工程

收录刊物：Scopus、PKU、ISTIC、CSCD

卷号：20

期号：7

页面范围：860-864

ISSN号：1004-132X

关键字：微拉伸测试; 轴向对准; 弹性模量; 单晶硅

摘要：针对微尺度下构件的力学性能测量问题,搭建一种片外驱动微拉伸测试装置.该测试装置具有高精度的力载荷与位移检测能力,精度分别达毫米级和亚微米级;可在
   线标定装置的刚度系数,利用弹簧串联模型获取试样的拉伸变形.在微构件轴向对准、夹持方面采用凹凸台载物片与松香-乙醇溶液粘合的方式,有效提高了微拉伸
   测试技术的精度、可靠性与重复性.利用该装置可测量微构件的弹性模量、断裂强度等力学性能.用该装置测量了单晶硅梁在<110>晶向上的弹性模量,并分析
   了装置的测量误差.