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研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：吉林工业大学
所在单位：机械工程学院
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硅基PZT薄膜微型悬臂的特性及其在微型传感器执行器上的应用
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论文类型：会议论文
发表时间：2004-08-01
页面范围：194-196
关键字：硅基PZT薄膜;微型悬臂;表面沉积;悬臂结构;微型传感器
摘要：在硅材料表面沉积PZT薄膜并通过MEMS工艺可以形成硅基PZT薄膜悬臂结构,在外加电场的作用下,悬臂将发生弯曲并输出位移和力,形成微型执行器;在外加集中力和载荷的情况下,可以产生表面感应电荷,借此测量外界力和压力的大小,形成传感单元.这里从PZT薄膜的制备、微型悬臂结构的制备、特性以及目前在微型传感器、微型执行器的主要应用方面作了综述性说明.