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论文类型：期刊论文

发表时间：2004-12-30

发表刊物：仪器仪表学报

收录刊物：PKU、ISTIC

卷号：25

期号：z1

页面范围：194-196

ISSN号：0254-3087

关键字：硅基PZT薄膜;微型悬臂;特;性;应;用

摘要：在硅材料表面沉积PZT薄膜并通过MEMS工艺可以形成硅基PZT薄膜悬臂结构,在外加电场的作用下,悬臂将发生弯曲并输出位移和力,形成微型执行器;在外加集中力和载荷的情况下,可以产生表面感应电荷,借此测量外界力和压力的大小,形成传感单元.这里从PZT薄膜的制备、微型悬臂结构的制备、特性以及目前在微型传感器、微型执行器的主要应用方面作了综述性说明.