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个人信息Personal Information
研究员
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：吉林工业大学
所在单位：机械工程学院
电子邮箱：wangld@dlut.edu.cn
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微机电系统科学与技术发展趋势
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论文类型：期刊论文
发表时间：2000-09-30
发表刊物：大连理工大学学报
收录刊物：PKU、CSCD
卷号：40
期号：5
页面范围：505-508
ISSN号：1000-8608
关键字：传感器/微机电系统;微制造技术
摘要：阐明了微机电系统(MEMS)的学科内涵与应用范畴.着重介绍了国外MEMS的研究情况.研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别;论述了LIGA加工、刻蚀技术等微制造技术.总结了国内的研究工作,给出了我国在基础理论、材料、工艺、元器件、测试及微系统等方面的研究情况,并提出发展我国微机电系统的几点建议.