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个人信息Personal Information
副教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：昌原大学
学位：博士
所在单位：机械工程学院
学科：机械制造及其自动化
办公地点：机械工程学院知方楼5112号
电子邮箱：wangyiqi@dlut.edu.cn
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Surface roughness measurement accuracy analysis of grinded silicon wafer by white light scanning interferometry (WLSI)
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发表时间：2022-10-09
发表刊物：OPTICAL MEASUREMENT SYSTEMS FOR INDUSTRIAL INSPECTION XI
卷号：11056
ISSN号：0277-786X