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许富民
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副教授   硕士生导师

性别:男

毕业院校:大连理工大学

学位:博士

所在单位:材料科学与工程学院

学科:材料学

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当前位置 : 许富民 >> 科学研究 >> 科研项目
低温等离子体增强裂解氟化硅制备太阳级高纯多晶硅

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项目名称:低温等离子体增强裂解氟化硅制备太阳级高纯多晶硅

负责人姓名:许富民

项目状态:结题

项目来源单位:大连理工大学

项目性质:纵向

项目批准号:DUTNYX2009211

立项时间:2009-01-01

计划完成时间:2011-07-31

开始日期:2009-01-01

结项日期:2011-07-31

发布时间:2016-08-09

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