李晓干
个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
主要任职:集成电路学院副院长
性别:男
毕业院校:英国利兹大学
学位:博士
所在单位:集成电路学院
学科:微电子学与固体电子学
联系方式:Email:lixg@dlut.edu.cn
电子邮箱:lixg@dlut.edu.cn
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ZrO2:TiO2复合纳米纤维湿度传感器的直、交流特性研究
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论文类型:期刊论文
发表时间:2011-12-15
发表刊物:传感技术学报
收录刊物:PKU、ISTIC、CSCD、Scopus
卷号:24
期号:12
页面范围:1681-1686
ISSN号:1004-1699
关键字:湿度传感器;复合纳米纤维;ZrO2:TiO2;直流特性;交流特性
摘要:利用ZrO2:TiO2复合纳米纤维制作了特性良好的电容型湿度传感器.该湿敏元件在100 Hz测量频率下灵敏度较高,线性度较好.其电容值在11% ~98%相对湿度范围内从20 pF变化到1.5×105 pF.文中从直流特性(伏安特性、极性反转瞬时性)和交流特性(复阻抗)的角度分析了该湿敏元件的感湿机理.利用瞬时直流极性反转法研究了该元件在不同湿度下参与导电的粒子类型;通过复阻抗分析软件ZView仿真并构建合理的等效电路,在等效电路中引入常相位元件和Warburg阻抗分析离子、电子和偶极子在交流电场下对湿敏元件感湿过程的影响.