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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
主要任职：创新创业学院院长
性别：男
出生日期：1981-12-01
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：创新创业学院
学科：机械制造及其自动化. 材料表面工程. 等离子体物理. 生物医学工程
办公地点：机械新大楼
联系方式：0411-84706959
电子邮箱：xinliu@dlut.edu.cn
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Influence of Cold Plasma on Material Removal Behavior During Scratching of Single Crystal Silicon
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发表时间：2024-10-07
发表刊物：SSRN
ISSN号：1556-5068
关键字：Atmospheric pressure; Cold plasmas; Cracks; Crystal material; Crystal orientation; Ductile fracture; Fracture mechanics; High hardness; Machined surface; Material removal behaviours; Microscopic cracks; Monocrystalline silicon; Removal behavior; Scratching; Silicon wafers; Single crystals; Single crystal silicon; Sub; surface damage