光刻系统实验教学平台搭建及课程开展
发表时间：2019-03-11
点击次数：
- 论文类型：
- 期刊论文
- 第一作者：
- 王奇
- 合写作者：
- 刘勐,汪家奇
- 发表时间：
- 2017-12-28
- 发表刊物：
- 实验室科学
- 文献类型：
- J
- 卷号：
- 20
- 期号：
- 6
- 页面范围：
- 10-12,15
- ISSN号：
- 1672-4305
- 关键字：
- 光刻系统平台;集成电路技术;实验设计
- 摘要：
- 目前我国高校开展的光刻教学课程主要集中在加工原理方面,普遍缺乏配合理论知识学习的实际工艺操作实验.大连理工大学国家级示范性微电子学院自主设计、 搭建了光刻实验平台以满足学生学习实践的需要.介绍了光刻实验平台系统的设备模块构成以及知识体系,开展实验的前期准备、 课堂组织、 注意事项.此外,给出了部分结果,分析了课程实施的主要困难与解决方案.
- 是否译文：
- 否
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