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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：muz@dlut.edu.cn
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Study of Deposition of Aluminum Nitride Thin Films by Hollow Cathode Electron Beam Vapor Deposition Method
点击次数：
论文类型：期刊论文
发表时间：2010-01-01
发表刊物：Materials Science Forum Vols
卷号：654
页面范围：1708-1711