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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：muz@dlut.edu.cn
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中频孪生靶非平衡磁控溅射制备氮化硅薄膜及其性能(英文)
点击次数：
论文类型：期刊论文
发表时间：2011-01-01
发表刊物：材料科学与工程学报,Vol. 29, No.3,2011, 311-326
卷号：29
期号：3
页面范围：311-326
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副教授
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
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论文类型：期刊论文
发表时间：2011-01-01
发表刊物：材料科学与工程学报,Vol. 29, No.3,2011, 311-326
卷号：29
期号：3
页面范围：311-326