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论文类型：期刊论文

发表时间：2009-07-15

发表刊物：真空科学与技术学报

收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD、Scopus

卷号：29

期号：4

页面范围：364-368

ISSN号：1672-7126

关键字：反应溅射;迟滞效应;PID神经网络控制;S.Berg模型

摘要：在反应溅射工艺中,反应气体流量和沉积速率、反应气体气压、靶电压之间存在迟滞关系.为了保证反应溅射稳定以及保持溅射率高和反应气体利用率高,需要对反应溅射系统进行精确控制.PID神经网络(PIDNN)控制器具有PID控制的快速收敛特点和神经网络的非线性逼近能力,适合对非线性反应溅射系统的控制.本文用PID神经网络(PIDNN)控制器对反应溅射系统进行精确控制.在S.Berg给出的反应溅射系统模型基础上,对反应溅射系统的PIDNN控制进行仿真.仿真结果表明,PIDNN控制器能够稳定反应溅射过程,并且收敛速度较快,输出响应迅速,抗干扰能力强.