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个人信息Personal Information
副教授
硕士生导师
性别：男
毕业院校：大连理工大学
学位：博士
所在单位：物理学院
电子邮箱：muz@dlut.edu.cn
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平面磁控溅射靶磁场的计算
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论文类型：期刊论文
发表时间：2008-05-15
发表刊物：真空科学与技术学报
收录刊物：EI、PKU、ISTIC、CSCD
卷号：28
期号：3
页面范围：271-274
ISSN号：1672-7126
关键字：磁控溅射;磁场;有限元法
摘要：精确分析磁控靶的磁场对优化磁控靶的设计非常重要.本文采用有限元法分析了圆形平面磁控靶的二维磁场分布,理论计算的结果与特斯拉计的实验测量相符,通过对比两种不同磁极尺寸的磁控靶的磁场,发现减少磁极的尺寸可以扩展靶表面径向磁场区域,磁芯上方加圆锥形极靴可以增强磁芯上方径向磁场.