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教师姓名：王永青
性别：男
主要任职：Dean of School of Mechanical Engineering
电子邮箱：yqwang@dlut.edu.cn
职称：教授
所在单位：机械工程学院
学位：博士
学科：机械电子工程. 机械制造及其自动化
毕业院校：大连理工大学
曾获荣誉：国家技术发明一等奖1项、国家技术发明二等奖1项、教育部技术发明一等奖2项、教育部科技进步一等奖1项、中国机械工业科学技术一等奖1项，第九届辽宁省优秀科技工作者
办公地点：机械工程学院1#楼346-2房间
联系方式：yqwang@dlut.edu.cn; 0411-84708420

论文成果

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CMP设备控制软件的模块规划及可视化技术

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论文类型：期刊论文
发表时间：2008-06-20
发表刊物：电子工业专用设备
卷号：37
期号：6
页面范围：19-23
ISSN号：1004-4507
关键字：CMP;面向对象;多视图通讯;OpenGL
摘要：CMP (Chemical Mechanical Polishing)设备是半导体集成电路(IC)制造中的关键设备,CMP设备控制软件的开发是CMP设备研发的关键技术之一.针对三工位CMP机床,自行设计开发了具有抛光压力在线监控、真空吸盘的真空度实时监测、抛光头及抛光盘变频电机转速和转向控制以及机床动作控制等功能的设备监控系统.采用面向对象的方法,给出了监控系统软件模块的划分方法,并对控制功能模块进行了类的封装,重点介绍了多视图通讯的实现以及利用OpenGL实现软件可视化的CMP软件开发关键技术.
发表时间：2008-06-20

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