Indexed by:期刊论文

Date of Publication:2011-11-15

Journal:物理学报

Included Journals:PKU、ISTIC、CSCD

Volume:61

Issue:1

Page Number:276-282

ISSN No.:1000-3290

Key Words:双频容性耦合等离子体;径向均匀性;全悬浮双探针;二维流体模型

Abstract:利用自主研制的全悬浮双探针,对影响双频容性耦合等离子体径向均匀性的因素进行了研究.发现低频功率、放电气压和放电间距对径向均匀性有明显影响.合适的低频功率、放电气压及较大的极板间距可以得到更均匀的等离子体.采用与实验相同的放电参数,利用改进的二维流体模型进行理论模拟,得到了不同极板问距下径向离子密度分布,并和实验测量结果进行了比较,两者的变化趋势基本符合.