大连理工大学主页平台管理系统刘永新--Yong-- Experimental investigations of electron density and ion energy distributions in dual-frequency capacitively coupled plasmas for Ar/CF4 and Ar/O2/CF4 discharges

刘永新

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教授博士生导师硕士生导师

性别：男

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

电子邮箱： yxliu129@dlut.edu.cn

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Experimental investigations of electron density and ion energy distributions in dual-frequency capacitively coupled plasmas for Ar/CF4 and Ar/O2/CF4 discharges

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论文类型：期刊论文

发表时间： 2014-01-01

发表刊物： J. Appl. Phys.

卷号： 115

期号： 1

页面范围： 13301-13301

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