大连理工大学主页平台管理系统刘永新 Electron bounce resonance heating in dual-frequency capacitively coupled oxygen discharges Yong

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刘永新

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教授博士生导师硕士生导师

性别：男

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

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Electron bounce resonance heating in dual-frequency capacitively coupled oxygen discharges

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发布时间：2019-03-13

论文类型：期刊论文

发表时间：1993-01-01

发表刊物：PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY

卷号：22

期号：2

页面范围：25012-25012

上一条：Spatially resolved measurements of ion density and electron temperature in a dual-frequency capacitively coupled plasma by complete floating double probe technique

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