大连理工大学主页平台管理系统刘永新--Yong-- Electron bounce resonance heating in dual-frequency capacitively coupled oxygen discharges

刘永新

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教授博士生导师硕士生导师

性别：男

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

电子邮箱： yxliu129@dlut.edu.cn

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Electron bounce resonance heating in dual-frequency capacitively coupled oxygen discharges

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论文类型：期刊论文

发表时间： 1993-01-01

发表刊物： PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY

卷号： 22

期号： 2

页面范围： 25012-25012

上一条： Spatially resolved measurements of ion density and electron temperature in a dual-frequency capacitively coupled plasma by complete floating double probe technique