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刘永新
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教授   博士生导师   硕士生导师

性别：男

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

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An experimental and computational investigation of discharge mode transitions in a partially magnetized radio frequency capacitively coupled oxygen discharge

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发布时间：2024-09-14

发表时间：2024-09-05

发表刊物：PLASMA PROCESSES AND POLYMERS

卷号：21

期号：8

ISSN号：1612-8850

关键字：AR; DRIVEN; ENERGY-DISTRIBUTION FUNCTION; OPTIMIZATION; OXIDATION; PLASMA-DENSITY

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