大连理工大学主页平台管理系统刘永新--Yong-- Low-frequency dependence of plasma characteristics in dual-frequency capacitively coupled plasma sources

刘永新

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教授博士生导师硕士生导师

性别：男

毕业院校：大连理工大学

学位：博士

所在单位：物理学院

学科：等离子体物理

办公地点：大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

电子邮箱： yxliu129@dlut.edu.cn

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Low-frequency dependence of plasma characteristics in dual-frequency capacitively coupled plasma sources

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发表刊物： APPLIED PHYSICS LETTERS

卷号： 124

期号： 6

ISSN号： 0003-6951

关键字： AR; GLOW-DISCHARGES; ION ENERGY-DISTRIBUTIONS; PARAMETERS; PRESSURE

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