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刘永新

教授 博士生导师 硕士生导师

性别: 男

毕业院校: 大连理工大学

学位: 博士

所在单位: 物理学院

学科: 等离子体物理

办公地点: 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室

电子邮箱: yxliu129@dlut.edu.cn

论文成果
Low-frequency dependence of plasma characteristics in dual-frequency capacitively coupled plasma sources

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发表时间:2024-09-14

发表刊物:APPLIED PHYSICS LETTERS

文献类型:J

卷号:124

期号:6

ISSN号:0003-6951

关键字:AR; GLOW-DISCHARGES; ION ENERGY-DISTRIBUTIONS; PARAMETERS; PRESSURE

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