
教授 博士生导师 硕士生导师
性别:男
毕业院校:大连理工大学
学位:博士
所在单位:物理学院
学科:等离子体物理
办公地点:大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室3号楼201室
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发布时间:2024-09-14
发表刊物:APPLIED PHYSICS LETTERS
卷号:124
期号:6
ISSN号:0003-6951
关键字:AR; GLOW-DISCHARGES; ION ENERGY-DISTRIBUTIONS; PARAMETERS; PRESSURE