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论文类型：期刊论文

发表时间：2006-01-01

发表刊物：真空科学与技术学报

收录刊物：PKU、ISTIC

卷号：26

期号：z1

页面范围：140-142

ISSN号：1672-7126

关键字：声表面波滤波器;金刚石;ZnO薄膜;金属有机化合物气相沉积

摘要：ZnO/金刚石结构的表面声学波滤波器的性能主要取决于沉积ZnO薄膜的质量.本文用金属有机化合物气相沉积两步生长法在自持化学气相沉积金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并用X射线衍射谱,扫描电子显微镜和室温光荧光谱对薄膜质量进行了表征.结果表明得到的ZnO薄膜取向一致,表面较均匀,光学质量良好.