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论文类型：期刊论文

发表时间：2006-03-30

发表刊物：大连理工大学学报

收录刊物：Scopus、CSCD、ISTIC、PKU、EI

卷号：46

期号：2

页面范围：157-159

ISSN号：1000-8608

关键字：钽;热阴极;辉光放电

摘要：为快速沉积高品质金刚石膜,建立了热阴极等离子体化学气相沉积方法.相对于常规冷阴极辉光放电而言,热阴极辉光放电是一种新型放电形式,具有许多新的特性,其中重要一方面是阴极工作在较高的温度(700～1 200℃).研究了钽阴极在此温度条件下,在PCVD气氛中的反应情况.结果表明,钽与气氛中的碳反应形成了有益于放电和阴极防护的碳化钽表面,而气氛中氧的存在会影响阴极的正常工作,甚至造成阴极损坏.为有效保护阴极,需严格控制真空系统的本底真空度和漏气率.