金刚石膜制备工艺对其应力-应变特性的影响
点击次数：
论文类型：期刊论文
发表时间：2006-09-26
发表刊物：吉林大学学报（理学版）
收录刊物：CSCD、ISTIC
卷号：44
期号：5
页面范围：784-786
ISSN号：1671-5489
关键字：化学气相沉积;金刚石膜;应力-应变
摘要：研究了在直流热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积制备金刚石厚膜的工艺过程中,放电电流和甲烷浓度对金刚石膜应力-应变特性的影响规律.
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论文类型：期刊论文
发表时间：2006-09-26
发表刊物：吉林大学学报（理学版）
收录刊物：CSCD、ISTIC
卷号：44
期号：5
页面范围：784-786
ISSN号：1671-5489
关键字：化学气相沉积;金刚石膜;应力-应变
摘要：研究了在直流热阴极辉光放电等离子体化学气相沉积制备金刚石厚膜的工艺过程中,放电电流和甲烷浓度对金刚石膜应力-应变特性的影响规律.