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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：中科院等离子体物理研究所
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：新三束实验室3号楼
联系方式：zfding@dlut.edu.cn
电子邮箱：zfding@dlut.edu.cn
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脉冲调制射频大气压氩气放电数值模拟研究
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论文类型：会议论文
发表时间：2013-08-15
页面范围：274-274
关键字：辉光放电;材料表面改性;电不稳定;放电模式;脉冲调制;生产效率;电子密度;电子温度;放电特性;数值模拟;
摘要：由于具有低成本、高生产效率等优点,大气压射频辉光放电(radio frequencyatmospheric pressure glow discharge)己在大规模集成电路、材料表面改性及生物杀菌等领域得到广泛应用。然而,射频辉光放电过高的频率会导致放电不稳定,容易发生放电模式的转换:由均匀的辉光放电变成高温的弧光放电,不利于处理对温度敏感的