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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：中科院等离子体物理研究所
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：新三束实验室3号楼
联系方式：zfding@dlut.edu.cn
电子邮箱：zfding@dlut.edu.cn
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射频感应耦合等离子体调谐基片自偏压特性的进一步研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2008-06-15
发表刊物：辽宁师范大学学报（自然科学版）
收录刊物：ISTIC
卷号：31
期号：2
页面范围：158-161
ISSN号：1000-1735
关键字：射频等离子体;调谐基片自偏压;正反馈
摘要：在已有的调谐基片自偏压研究的基础上,进一步研究了基片台空间轴向位置对基片自偏压-调谐电容曲线的影响;研究了基片分支串联电阻对基片自偏压的影响,发现了在电阻值区自偏压自振荡现象;在不同的放电参数下,采用自制诊断工具测量了射频感应耦合等离子体电子温度、电子密度等参量的空间分布.并对基片自偏压相应的实验现象给出了物理模型解释.