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个人信息Personal Information
教授
博士生导师
硕士生导师
性别：男
毕业院校：中科院等离子体物理研究所
学位：博士
所在单位：物理学院
学科：等离子体物理
办公地点：新三束实验室3号楼
联系方式：zfding@dlut.edu.cn
电子邮箱：zfding@dlut.edu.cn
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射频感应耦合Ar-N2等离子体物理特性的Langmuir探针测量及理论研究
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论文类型：期刊论文
发表时间：2008-08-01
发表刊物：物理学报
收录刊物：PKU、ISTIC、CSCD、SCIE、Scopus
卷号：57
期号：8
页面范围：5123-5129
ISSN号：1000-3290
关键字：感应耦合等离子体;Ar-N2混合气体放电;电子能量分布;Langmuir探针
摘要：分别通过Langmuir探针测量和动力学模型模拟方法研究了射频感应耦合Ar-N2等离子体中电子能量分布、电子温度、电子密度等物理量随N2含量的变化规律.实验研究结果表明:电子能量分布呈现出非Maxwell型分布,并由双温分布向三温分布过渡;电子温度在不同的气压下随N2含量的增加呈现出不同的变化规律.在放电气压小于1.3 Pa时,电子温度随N2含量的增加而下降;当气压大于1.3 Pa时,电子温度随N2含量的增加先迅速上升而后缓慢下降.在不同的放电气压下,电子密度随N2含量的增加迅速下降.数值模拟结果与Langmuir探针测量结果趋势一致.